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近日,有媒体报道称,精华大学化学系许华平教授团队,在EUV光刻胶上取得了重要进展,开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶材料大牛配资,这种光刻胶材料,比现有的EUV光刻胶,具有更好的特性。 目前该成果,已经发表在核心期刊上,而这种材料和技术,为中国研发出EUV光刻胶,提供了可行路径,也就是说可能很快中国就会研发出自己的EUV光刻胶了。 要知道目前全球的EUV光刻胶,几乎都掌握在日本企业手中,不仅仅是EUV光刻机,先进的ArF光刻胶,也掌握在日本企业手中。 中国能够研发出来的光刻机,主要还是KrF光
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